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真空泵油霧過濾器在推動力的作用下，位于一側的油氣混合物通過真空泵油霧過濾器的濾紙及棉質。油被截留，從而實現氣體與真空油的過濾操作過程。被過濾掉的真空泵油隨著回油管進行循環利用，排出的則是無油的廢氣，從而達到無污染，潔凈的效果。